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首页 > 产品中心 > 磨抛机 > 单面CMP抛光机
产品详情
单面CMP抛光机
参考报价:
面议
品牌:
梦启半导体
关注度:
71
样本:
暂无
型号:
单面CMP抛光机
产地:
广东
信息完整度:
典型用户:
暂无
工作原理:
其他
索取资料及报价
认证信息
高级会员 第
1
年
名 称:
深圳市梦启半导体装备有限公司
认 证:工商信息已核实
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半导体行业专用仪器
全自动超精密晶圆减薄机
单工位减薄机
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定制加工件
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梦启半导体
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产品简介
参数名称
单位
DL-855/4P-CMP
主电源
V
三相 380
主电机功率
KW
15
主电机转速
RPM
0~85
上盘驱动电机转速
RPM
0~70
抛光盘尺寸
mm
855
加工尺寸
寸
2-8
工作工位
组
4
工件盘尺寸
mm
Φ305x15
单工位压力
Kg
20~300
抛光液流速
L/min
15(可调)
主盘温度检测
度
±5
设备尺寸(W x D x H)
mm
1200x1650x2250
设备重量
Kg
约2450
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